1.电子光学系统
（1）电子枪：发叉结构钨丝阴极；
（2）分辨率：二次电子像分辨率优于 3.0nm（30KV）；
（3）放大倍率：8×～300,000×；
（4）加速电压：0 V～30kV，连续可调；
（5）自动功能包括：自动电子枪加热、自动对中、自动加束流、自动加偏压、自动聚焦&消像散、自动象散记忆、自动对比度、自动亮度，实现一键看像功能，自动故障检测、自动校正等；
2.样品室和样品台
（1）样品台：五轴高精密样品台。
X移动方向不低于80mm，Y轴移动方向不低于60mm，Z轴移动方向不低于50mm，倾斜范围为-5°～ +90° ，旋转方向为 360°；
（2）可放置*大样品尺寸：直径110mm；
3.真空系统
涡轮分子泵和机械泵，可保持设备长期的高分辨；